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晶圆制造系统是半导体产业链中非常复杂和昂贵的环节，先进的生产调度技术对于晶圆制造系统所产生的经济效益尤为重大，在制品水平每降低1%将减少数百万元的成本，而制造周期每缩短1%将增加数千万元的产出。本书旨在提供系统的晶圆制造并行机调度问题分析以及算法设计方法，为广大企业、科研院所、高等院校进一步深入研究晶圆制造调度问题提供理论基础，为推动晶圆制造调度技术发展和企业实际应用提供参考，对提升我国晶圆制造企业的核心技术竞争力及行业综合实力具有重要意义。本书主要面向研究者和生产管理人员，其中包括将要进行晶圆制造系统调度优化方面研究的学者，和工业界中期望寻找有效的晶圆制造系统调度方法的生产管理人员。本书也可作为机械工程、工业工程、自动化、计算机工程、管理工程等相关专业的研究生和高年级本科生的教材和参考书。
内容简介
《晶圆制造中的并行机调度/排序与调度丛书》在介绍晶圆制造中的并行机调度问题和建模方法的基础上，分别介绍了光刻机调度方法、炉管区调度方法以及物料运输系统调度方法。同时介绍了晶圆制造中的并行机调度性能评价方法，以及原型系统的开发和应用。《晶圆制造中的并行机调度/排序与调度丛书》提出的方法和技术将为广大企业、科研院所、高等院校进一步深入研究晶圆制造调度问题提供理论基础，为推动晶圆制造调度技术发展和企业实际应用提供参考，对提升我国晶圆制造企业的核心技术竞争力及行业综合实力具有重要意义。
作者简介
张洁，女，东华大学机械工程学院院长、教授、博士生导师。中国科协智能制造学会联合体专家委员会委员、中国人工智能学会智能制造专业委员会副主任等。长期致力于将先进制造技术与先进管理理念和IT技术结合的课题研究与开发，主要研究方向为工业大数据分析与决策、智能生产调度等，主持和参加了国家自然科学基金重点项目和面上项目、国家高技术研究发展计划（“863”计划）项目、国家科技部重点研发计划项目、国家科技重大专项等20多个项目，出版专著《晶圆制造自动化物料运输系统调度》等9本，发表论文80多篇，获得国内公开授权发明专利和软件著作权30项。
张朋，男，东华大学机械工程学院智能制造研究所讲师。2011年于华中科技大学获学士学位，2019年于上海交通大学获得博士学位。博士课题专注于晶圆制造系统光刻区调度方法的研究，主要研究方向包括智能优化算法以及复杂制造系统的建模、仿真与调度。作为项目核心骨干参与国家自然科学基金重点项目和面上项目、国家科技重大专项、国家高技术研究发展计划（“863”计划）项目、航天联合基金、工信部智能制造专项等多个项目；在IJPR、机械工程学报等期刊上发表SCI/EI论文10余篇。
章节目录
第1章 绪论
1．1 半导体产业
1．1．1 半导体产业的发展与现状
1．1．2 未来半导体产业面临的挑战
1．2 晶圆制造流程
1．2．1 沉积工艺
1．2．2 光刻工艺
1．2．3 刻蚀工艺
1．2．4 离子注入工艺
1．3 晶圆制造系统的构成
1．3．1 晶圆制造加工系统
1．3．2 晶圆制造物料运输系统
1．4 晶圆制造中的调度问题
1．4．1 调度问题分类
1．4．2 调度问题研究现状
1．5 晶圆制造中调度的重要意义
1．6 本书的主要内容安排
第2章 晶圆制造中的并行机调度问题
2．1 引言
2．2 晶圆制造中的并行机
2．2．1 晶圆制造加工系统并行机
2．2．2 晶圆制造物料运输系统并行机
2．3 晶圆制造中的典型并行机调度问题
2．3．1 光刻机调度问题
2．3．2 炉管区调度问题
2．3．3 自动物料运输小车调度问题
2．4 晶圆制造并行机调度问题的特点
2．5 晶圆制造并行机调度算法
2．6 本章小结
第3章 晶圆制造并行机调度问题建模
3．1 引言
3．2 晶圆制造加工系统建模
3．2．1 基于数学规划模型的晶圆制造加工系统建模
3．2．2 基于排队论模型的晶圆加工系统建模
3．3 晶圆制造运输系统建模
3．3．1 基于复杂网络的晶圆制造运输系统建模
3．3．2 基于马尔可夫模型的晶圆制造运输系统建模
3．3．3 基于仿真模型的晶圆制造运输系统建模
3．4 本章小结
第4章 晶圆制造中的光刻机调度
4．1 引言
4．2 光刻机调度问题
4．2．1 问题描述
4．2．2 光刻机调度问题数学模型
4．3 基于DSRPT规则的非等效并行机动态调度
4．3．1 SRPT规则性能分析
4．3．2 DSRPT在线调度规则设计
4．4 基于递阶混合帝国竞争算法的光刻机调度算法
4．4．1 时间窗口滚动策略
4．4．2 编码解码策略
4．4．3 递阶混合帝国竞争算法
4．5 实验验证
4．5．1 算法参数实验
4．5．2 关键影响因子分析
4．5．3 算法性能对比实验
4．6 企业生产数据验证
4．7 本章小结
第5章 晶圆制造中的炉管区调度
5．1 引言
5．2 晶圆制造炉管区并行批处理机在线调度
5．2．1 炉管区并行批处理机在线调度问题描述
……
第6章 晶圆制造中的物料运输系统调度
第7章 晶圆制造并行机调度性能评估
第8章 晶圆制造调度系统并行机调度模块
索引
参考文献
附录A 英汉排序与调度词汇
晶圆制造中的并行机调度/排序与调度丛书是2019年由清华大学出版社出版,作者张洁。
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