单晶硅超精密加工技术仿真 电子书

单晶硅超精密加工技术仿真

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本书以材料力学、超精密加工等学科为理论基础,解决了传统研究中只能通过大量实验来确定工艺参数的弊端。

内容简介

本书共分8章,每一章的内容前后呼应,总体叙述了利用有限元和分子动力学两种仿真技术分析硬脆单晶硅材料的超精密加工过程,并建立超精密加工系统进行实验,进而对有限元的仿真结果进行验证,既有基本原理和公式的阐述,也有对该领域国内外现状的分析介绍。书中数据是著者本人及所带研究生研究工作的汇集,同时对一些科学现象加以挖掘,对一些基本原理进行深入浅出的解释。

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单晶硅超精密加工技术仿真是2020年由机械工业出版社出版,作者史立秋。

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