内容简介
场发射扫描电镜的出现,标志若扫描电镜进入一个崭新的时代,扫描电镜技术取得了巨大进步。新型电子枪、浸没式物镜、穿镜二次电子探测器、模拟背散射、E×B和电子束减速等新技术的应用,极大地提高了扫描电镜的性能,场发射扫描电镜已经成为各类分析测试实验室的仪器。
本书系统地论述了扫描电镜基础理论、扫描电镜的结构和成像原理,通过实操案例详细地介绍了扫描电镜的调试和参数选择,重点介绍了样品制备及场发射扫描电镜在生物、环境和材料领域中的应用。
本书适合材料、化学、生物、微电子、半导体和环境等领域的科研院所和高校相关专业师生阅读,可为相关行业研究人员和从业者提供有益参考。
场发射扫描电镜的理论与实践是2024年由人民邮电出版社出版,作者徐驰。
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