内容简介

　　半导体材料是微电子、光电子和太阳能等工业的基石，而其电学性能、光学性能和机械性能将会影响半导体器件的性能和质量，因此，半导体材料性能和结构的测试和分析，是半导体材料研究和开发的重要方面。《半导体材料测试与分析》主要介绍半导体材料的各种测试分析技术，涉及测试技术的基本原理、仪器结构、样品制备和应用实例等内容：包括四探针电阻率、无接触电阻率、扩展电阻、微波光电导衰减、霍尔效应、红外光谱、深能级瞬态谱、正电子湮没、荧光光谱、紫外-可见吸收光谱、电子束诱生电流、I-V和C-V等测试分析技术。

　　《半导体材料测试与分析》可供大专院校的半导体物理、材料与器件、材料科学与工程和太阳能光伏等专业的高年级学生、研究生和教师作教学用书或参考书，也可供从事相关研究和开发的科技工作者和企业工程师参考。

章节目录

前言

第1章 电阻率测试

第2章 扩展电阻测试

第3章 少数载流子寿命测试

第4章 少数载流子扩散长度测试

第5章 霍尔效应测试

第6章 红外光谱测试

第7章 深能级瞬态谱测试

第8章 正电子湮没谱测试

第9章 光致荧光谱测试

第10章 紫外-可见吸收光谱测试

第11章 电子束诱生电流测试

第12章 I-V和C-V测试

半导体材料测试与分析是2010年由科学出版社有限责任公司出版,作者杨德仁等。

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